1、物質的理化常數(shù)
| 國標編號： | 22033 | ＣＡＳ: | 75-73-0 |
| 中文名稱： | 四氟甲烷 | ||
| 英文名稱： | tetrafluoromethane；carbon tetrafluoride | ||
| 別名： | R14；四氟化碳 | ||
| 分子式: | CF4 | 分子量: | 88.01 |
| 熔 點: | -183.6℃ 沸點：-128. | ||
| 密 度: | 相對密度(水=1)1.61(- | ||
| 蒸汽壓: | |||
| 溶解性: | 不溶于水 | ||
| 穩(wěn)定性: | 穩(wěn)定 | ||
| 外觀和形狀: | 無色無臭氣體 | ||
| 危險標記: | 5(不燃氣體) | ||
| 用途: | 用作低溫致冷劑及集成電路的等離子干 法蝕刻技術 |
2、對環(huán)境的影響
一、健康危害
侵入途徑：吸入。
健康危害：能引起快速窒息。接觸后可引起頭痛、惡心和嘔吐。
二、毒理學資料及環(huán)境行為
毒性：屬低毒類。
急性毒性：大鼠吸入90%(充氧)×15分鐘，近似致死濃度；大鼠吸入895000ppm×15分鐘，最小致死濃度
危險特性：不燃。若遇高熱，容器內壓增大，有開裂和爆炸的危險。
燃燒(分解)產(chǎn)物：氟化氫。
3.現(xiàn)場應急監(jiān)測方法:
4.實驗室監(jiān)測方法:
氣相色譜法
5.環(huán)境標準:
6.應急處理處置方法:
一、泄漏應急處理
迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風處，并進行隔離，嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般作業(yè)工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風，加速擴散。如有可能，即時使用。漏氣容器要妥善處理，修復、檢驗后再用。
二、防護措施
呼吸系統(tǒng)防護：一般不需特殊防護。高濃度接觸時可佩戴自吸過濾式防毒面具(半面罩)。
眼睛防護：一般不需特殊防護。
身體防護：穿一般作業(yè)工作服。
手防護：戴一般作業(yè)防護手套。
其它：避免高濃度吸入。進入罐、限制性空間或其它高濃度區(qū)作業(yè)，須有人監(jiān)護。
三、急救措施
吸入：迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進行人工呼吸。就醫(yī)。
滅火方法：本品不燃。切斷氣源。噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場移至空曠處。
